“回顾瑞利波历史,展现表面波技术”微声学分论坛召开

 一年一度的中国声学盛会如期在上海举行，微声学分会聚集微声届国内著名大学、研究院所、企业单位等机构团队举办微声学特邀专题论坛，由微声学分会主任何世堂和副主任马晋毅主持，委员及学生代表约100余人参加。

首先由常务理事、微声学分会何世堂主任首先以”声表面波技术发展的历史回顾”为专题拉开微声专题论坛的序幕，他梳理自1965年White发明叉指换能器至声表面波技术经历了50多年的发展历程，并详细介绍瑞利波从1980年早期、1980年代到本世纪初低插入损耗时期以及新时期移动通信等三个时期技术的发展和领域应用的延伸。

常务理事、微声学分会马晋毅副主任、中国电科首席代表中国华录集团欧黎董事长作《微声滤波器技术研究进展》报告，主要对微声滤波器在高Q、宽带、温补、小型化和高密度集成等技术方向的发展现状和趋势展开讨论。提出微声滤波器在5G手机和基站射频前端的重要组成部分，其技术要求和价值较4G显著增长，自主可控的要求也越来越高。

宁夏钜晶源晶体科技有限公司总经理、微声学委员张学锋作《钽酸锂晶体中锂空位对其声学性能的影响》报告，他在压电材料基础研究方面取得突破，得出以同成分钽酸锂（CLT）中锂的含量为基准，逐渐增加钽酸锂中锂的含量，发现随着锂含量的增加，钽酸锂的声学性能都有不同程度的改善。

上海交通大学、微声学分会副主任韩韬教授作《SAW器件多场耦合精确建模与应用》报告，分享了从应力场、电磁场、温度场等多场耦合以及复杂边界条件下精确描述微声振动的非线性电弹扰动方程及有限元弱解形式求解方法的深入研究。以压力传感器、磁场传感器以及温度补偿型SAW谐振器作为实例，证实了多场耦合模型和求解方法的有效性。

中国科学院声学研究所李俊红研究员作《MEMS矢量水听器研究进展》报告，详细介绍了振动结构和压电薄膜是决定MEMS压电矢量水听器信噪比最为重要的因素，介绍对MEMS压电矢量水听器微结构、压电薄膜及关键微加工技术进行了综述分析，并对其应用前景进行了展望。

中国科学院声学研究所田亚会博士代表国家纳米科学中心、微声学秘书李红浪研究员作《航天极端环境声表面波传感器设计与应用》报告，从耐低温的声表面波谐振器阵列化的设计方法的研究。以温度传感器为例，深刻介绍面向阵列化、耐深低温需求的组网原理与设计要点。

中国科学院声学研究所、微声学分会委员王文研究员作《快速高灵敏的声表面波毒害气体检测技术及其应用》报告，利用沉积在声表面波传播路径上的气敏薄膜对目标气体的可逆物理吸附效应产生对声表面波传播的作用机制，已成功突破气敏材料合成与制备、声表面波气敏器件优化设计、声表面波气敏机理、传感电路、多目标气体识别算法等关键技术，研制出面向单兵综合系统的多目标毒害报警器装备，填补了我国单兵综合系统防化装备的空白，在国防工业领域有着重要的应用价值。

中国科学院声学研究所、微声学分会委员刘久玲研究员作《声表面波检测器灵敏度研究进展》报告，她对声表面波检测器的结构、工艺参数（膜厚/线宽）、敏感区域、指条保护等多因素的深入研究，成果应用于GCSAW系统。

此次微声学分会以“回顾瑞利波历史  展现表面波技术”为主题的专题论坛，以主任、副主任委员以及委员为表率，为国内微声学领域的专家、学者以及企业机构搭建技术交流平台，为推进5G微声核心器件的材料、设计、制造等自主可控、产业发展进程进行有益的尝试。