4.5.2 SiC在非基矢面上的同质外延《碳化硅技术基本原理生长、表征、器件和应用》

发布于 2021-11-24 15:24 ,所属分类:2021面试经验技巧分享

4.5.2 SiC在非基矢面上的同质外延

4.5 SiC在非标准平面上的同质外延

第4章 碳化硅外延生长

《碳化硅技术基本原理——生长、表征、器件和应用》

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